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ウエハ搬送容器(WafarShippingBox)は、半導体技術の基盤であるウエハ(φ300mm~φ50mm)を物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送します。 |
シリーズ特徴
低有機汚染性ウエハを化学汚染する要因は大別すると (1)有機汚染 (2)金属汚染 (3)無機分子汚染 の3つがあります。 |
作業性(1)視認性 |
ESD(静電気破壊)対策弊社ではΣ-seriesの材質を変更し、帯電防止性能を有したΩ-seriesをラインアップしております。 |
リサイクル性Σ-seriesでは、各部品単一材料で構成されており、容器使用後に部品毎に粉砕することでリサイクル可能です。 |
半導体ウエハ搬送容器 シリーズ紹介
| シグマシリーズ | |
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・アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。 | |
![]() Σ300FOSB |
Σ200,150,125,100 |
| エスエスシリーズ | |
|---|---|
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・ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。 | |
![]() SS300 |
SS50,75,100 |
| オメガシリーズ 受注生産品 | |
|---|---|
![]() |
個別に御相談に応じます。 |
| アルファシリーズ 受注生産品 | |
|---|---|
![]() |
個別に御相談に応じます。 |
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