半導体ウエハ搬送容器

半導体ウエハ搬送容器

ウエハ搬送容器(WafarShippingBox)は、半導体技術の基盤であるウエハ(φ300mm~φ50mm)を物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送します。
半導体の製造工程及びその前後工程での保管・搬送にご利用頂けます。
また、容器の材質はシリコンウエハのみならず化合物半導体、石英ガラス、セラミック等の各種ウエハにも対応可能です。
変動の激しいIT業界でQCDともご満足戴き、その上、環境にも優しい搬送容器をご提供致します。

シリーズ特徴

低有機汚染性

ウエハを化学汚染する要因は大別すると (1)有機汚染 (2)金属汚染 (3)無機分子汚染 の3つがあります。
弊社ではこれらの汚染源の極力少ないピュアーな材料を選定している為、ウエハをクリーンに搬送することが可能となります。

作業性

(1)視認性
Σ-series全機種において、カバーに透明素材を採用。容器内部の視認が可能となり、ウエハの有無や枚数確認等が容易に行えます。
(2)最適シール性/テープレス
弊社のシグマシリーズ全機種では、ガスケットにより容器に気密性能を有する為、搬送梱包の際、容器開口部へのテープによるシーリングは必要はありません。

ESD(静電気破壊)対策

弊社ではΣ-seriesの材質を変更し、帯電防止性能を有したΩ-seriesをラインアップしております。

リサイクル性

Σ-seriesでは、各部品単一材料で構成されており、容器使用後に部品毎に粉砕することでリサイクル可能です。

半導体ウエハ搬送容器 シリーズ紹介

シグマシリーズ

・アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。
・独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております
・300FOSBはSEMI規格に準拠しています。

Σ300FOSB

Σ300FOSB

Σ200,150,125,100

Σ200,150,125,100

エスエスシリーズ

・ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。
・アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します
・積層高さもコンパクトでえす。
・SS300はガスケットを有し、帯電防止性も品揃えしています。

SS300

SS300

SS50,75,100

SS50,75,100

オメガシリーズ 受注生産品
オメガシリーズ

個別に御相談に応じます。

アルファシリーズ 受注生産品
アルファシリーズ

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