ブックタイトル三甲総合カタログ2019
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三甲総合カタログ2019
712 ● タイプマークの詳細についてはP40~P43の「製品表示のご説明」をご覧下さい。気密性 チャンバーに容器を入れ、圧力変化させ、容器内外の圧力挙動を測定し、容器の気密性能を把握。測定方法耐落下衝撃性 測定方法 ウエハ装填した容器を外装箱へ入れ、落下試験機により落下させ、ウエハの割れ、ミスキャッチ、回転を評価。容器復圧時間(min)容器加圧性能(kPa)Σ200Σ1500~3000~6022耐振動衝撃性 測定方法 ウエハ装填した容器を外装箱へ入れ、加振機により振動させ、ウエハの割れ、ミスキャッチ、回転を評価。振動条件加速度:5G振動方向:垂直方向振動時間:3時間振動によるウエハ回転評価項目Σ150ウエハ回転角<2°Σ200<2°評価項目Σ150ウエハ割れミスキャッチ○○Σ200○○○…異常なし評価項目Σ150ウエハ割れミスキャッチ○○Σ200○○落下によるウエハ回転評価項目Σ150ウエハ回転角<2°Σ200<2°落下条件落下高さ:150cmウエハ厚さ:720μm(Φ200) 625μm(Φ150)落下方向:容器垂直方向落下回数:1回○…異常なし※これらの性能は代表性能(実験値)であり、保証するものではありません。新製品パレットタフライトG ジャン ボックスボックスパレットオリコンSN コンテナーサン ボックスばんじゅうサンテナーエペランサン コールド液体キャリーバックヤードサン エレックナー半導体ウエハ搬送容器安全保安左官土木専用飲料タル包装メディカルサン クリーンライフ特注品フリー ボックスオプションレンタル