半導体ウエハ輸送容器

半導体技術の基盤であるウエハを物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送。

ウエハ搬送容器(WafarShippingBox)は、半導体技術の基盤であるウエハ(φ300mm~φ50mm)を物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送します。
半導体の製造工程及びその前後工程での保管・搬送にご利用頂けます。
また、容器の材質はシリコンウエハのみならず化合物半導体、石英ガラス、セラミック等の各種ウエハにも対応可能です。
変動の激しいIT業界でQCDともご満足戴き、その上、環境にも優しい搬送容器をご提供致します。

サンコーの半導体ウエハ搬送容器の特徴をご紹介します。

最新鋭のクリーンルームで製造・検査を行い、高品質なウエハ搬送容器をご提供いたします。

シリーズの特長

1
低有機汚染性

ウエハを化学汚染する要因は大別すると (1)有機汚染 (2)金属汚染 (3)無機分子汚染 の3つがあります。
弊社ではこれらの汚染源の極力少ないピュアーな材料を選定している為、ウエハをクリーンに搬送することが可能となります。

2
作業性

1.視認性
Σ-series全機種において、カバーに透明素材を採用。容器内部の視認が可能となり、ウエハの有無や枚数確認等が容易に行えます。
2.最適シール性/テープレス

弊社のシグマシリーズ全機種では、ガスケットにより容器に気密性能を有する為、搬送梱包の際、容器開口部へのテープによるシーリングは必要はありません。

3
ESD(静電気破壊)対策

弊社ではΣ-seriesの材質を変更し、帯電防止性能を有したΩ-seriesをラインアップしております。

4
作業性

Σ-seriesでは、各部品単一材料で構成されており、容器使用後に部品毎に粉砕することでリサイクル可能です。

半導体ウエハ搬送容器 シリーズ紹介

シグマシリーズ

・アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。
・独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております。

Σ200,150,125,100

シービーシリーズ 受注生産品

・カバーとボトムのシンプル構造です。
・カバーにウエハの跳ね上がりを防止する羽根形状を設け、シンプルな構造でありながらウエハを安全・確実に輸送します。

CB150,CB125,CB100

エスエスシリーズ

・ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。
・アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。
・積層高さもコンパクトです。
・SS300はガスケットを有し、12インチウエハを安全に保管・搬送する事が可能です。
・小ロット対応が可能であり2インチ~12インチまでのサンプルウエハの搬送に最適です。

SS50,75,100
SS300

オメガシリーズ 受注生産品

・シグマシリーズをベースに帯電性能を付加したモデルで、パターン形成したウエハを安全に輸送します。

アルファシリーズ 受注生産品

・衝撃に強く、薄物ウエハも安全に輸送します。

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