半導体ウエハ輸送容器
半導体技術の基盤であるウエハを物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送。
ウエハ搬送容器（WaferShippingBox）は、半導体技術の基盤であるウエハ（φ300mm～φ50mm）を物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送します。
半導体の製造工程及びその前後工程での保管・搬送にご利用頂けます。
また、容器の材質はシリコンウエハのみならず化合物半導体、石英ガラス、セラミック等の各種ウエハにも対応可能です。
変動の激しいIT業界でQCDともご満足戴き、その上、環境にも優しい搬送容器をご提供致します。
サンコーの半導体ウエハ搬送容器の特長をご紹介します。
シリーズの特長
ウエハを化学汚染する要因は大別すると （1）有機汚染 （2）金属汚染 （3）無機分子汚染 の3つがあります。
弊社ではこれらの汚染源の極力少ないピュアーな材料を選定している為、ウエハをクリーンに搬送することが可能となります。
1.視認性
Σ-series全機種において、カバーに透明素材を採用。容器内部の視認が可能となり、ウエハの有無や枚数確認等が容易に行えます。
2.最適シール性／テープレス
弊社のシグマシリーズ全機種では、ガスケットにより容器に気密性能を有する為、搬送梱包の際、容器開口部へのテープによるシーリングは必要はありません。
弊社ではΣ－seriesの材質を変更し、帯電防止性能を有したΩ－seriesをラインアップしております。
Σ-seriesでは、各部品単一材料で構成されており、容器使用後に部品毎に粉砕することでリサイクル可能です。
半導体ウエハ搬送容器 シリーズ紹介
シグマシリーズ
・アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。
・独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております。
シービーシリーズ 受注生産品
・カバーとボトムのシンプル構造です。
・カバーにウエハの跳ね上がりを防止する羽根形状を設け、シンプルな構造でありながらウエハを安全・確実に輸送します。
エスエスシリーズ
・ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。
・アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。
・積層高さもコンパクトです。
・SS300はガスケットを有し、12インチウエハを安全に保管・搬送する事が可能です。
・小ロット対応が可能であり2インチ～12インチまでのサンプルウエハの搬送に最適です。
オメガシリーズ 受注生産品
・シグマシリーズをベースに帯電性能を付加したモデルで、パターン形成したウエハを安全に輸送します。
アルファシリーズ 受注生産品
・衝撃に強く、薄物ウエハも安全に輸送します。
